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SEMNova-1000高通量（场发射）扫描电子显微镜
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SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜
SEMNova-1000高通量(场发射)扫描电子显微镜，专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计，广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术，为您提供超凡的成像体验。
产品介绍
伯锐锶独立研发并拥有自主知识产权的SEMNova-1000高通量（场发射）扫描电子显微镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。
我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。
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产品优势
● 综合成像速度＞10倍传统电镜
● 二次电子与背散射电子双通道同步成像
● 海量SEM图像快速生成数据分析报告
● 从百毫米到纳米级的跨尺度材料表征
产品特点
1、极速成像
● 通过自主研发的硬件和软件设计，实现二次电子与背散射电子双通道同步成像：视频级高分辨成像；
● 高清视频级摄像帧率，使其具有实时观测样品动态变化的能力；
2、高成像质量
● 独特的浸没式电磁复合物镜系统，有效地减小低落点能量下物镜的象差，达到极高分辨能力；
● 与物镜场复合的静电式扫描偏转系统，相比于传统电镜的磁偏转系统，极大地减小图像边沿畸变，可获得兼具高分辨率和大视野的完美图像；
● In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器，双通道同时高速成像，兼具高灵敏度和高信号电子收集效率，即使在nA级别的大束流条件仍可获得高图像衬度和信噪比；
● 配备主动补偿系统（激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿），消除环境因素干扰，保证成像高分辨率高质量；
3、跨尺度大规模成像
● 超高速扫描成像能力，结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法，实现对超大区域样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描，并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像，使之具备了跨尺度信息融合能力，可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征；
4、智能分析
● 大数据智能分析 ，海量SEM图像快速生成数据分析报告；
● 智能图像处理，定制化图像测量、统计、分析；
5、操作简单
● 全自动样品载入与导航，一键完成样品更换，操作便捷，节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接，对指定区域快速准确实现定位和观测；
● 7*24小时全自动化无人值守运行能力；
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电子光学镜 电子枪 肖特基型热场发射电子源
束流稳定度<1%/天
物镜系统 SORRIL™ 电磁复合透镜
样品台减速模式
分辨率 1.5 nm @ 1kv 1.3nm @ 3 kv
浸没式电磁透镜(*①)
加速电压 0.1-12 kV
连续可调(*②)
放大倍数 500X~600,000X(SEM 图像)1X-600X(光学导航)
束斑电流 50pA~30nA
(*③)
标准工作距离 1.5mm
最大视场 100um(标准工作距离)1mm(最大工作距离
电子束消隐器 静电式消隐器
探测器系统 电子探测器
（标准）
In-column SE 探测器In-lens BSE 探测器 工作距离高度探测
Focus Tracking™ 自动聚焦跟踪系统 光学导航精度
15um 图像处理器 成像最小驻留时间
10ns/像素 最快成像通量
SE与BSE各 100M 像素/s 采集方式
双通道同步采集 SE+BSE 最大图像分辨率
24kx24k 像素 图像平均
支持点平均、线平均、面平均 样品运动平台 行程 X=150mm，Y=150mm，Z=20mm
最大样品载重 5kg
重复定位精度(*) X=±3um，Y=±3um，Z=±50nm
(*④)
驱动方式
X/Y 压电陶瓷驱动Z 步进电机+压电陶瓷驱动 标准样品托盘 4~6 英寸样品载盘预抽室自动送样
可选装载 SEM 标准样品托的载盘
图像增强
功能软件
基础控制软件
Nanoscope:自主研发用户友好的操作软件，用于电镜图像采集和测量具备一键图像聚焦和优化调整，可实时监控图像质量。 自动采集拼接软件
ArrayScan:基于 Nanoscope 实现大面积全自动图像陈列采集，进行图片地图集自动预拼接等相关工作 分析处理软件
ImageViewer:自主研发基于 Windows 操作系统，单张超高清图像(24kX24k)快速浏览与测量，大体量超高清图像(1000X1000张)地图集式自动拼接/浏览，信噪比优化 用户开发接口
支持 C#和 Qt版本:开放供用户调取使用接口功能。 注:
①:选配非浸没式电磁透镜，可观测铁磁性材料;*2):选配0~30kV电子枪;
③:选配100nA;
④:可选配激光干涉仪。
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